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在半導(dǎo)體制造這個(gè)“納米級(jí)微觀手術(shù)”中，干式真空泵扮演著至關(guān)重要的角色。干式真空泵能快速、干凈地把芯片加工腔室里的空氣和各種氣體“抽走”，為芯片制造提供工藝所必需的潔凈真空環(huán)境，完成薄膜沉積、刻蝕、離子注入、光刻等超微加工。

在新三板掛牌的中科儀，依托高真空、超高真空和超潔凈真空技術(shù)優(yōu)勢(shì)，攻克了一系列產(chǎn)業(yè)共性、關(guān)鍵技術(shù)難題，致力于研制開(kāi)發(fā)先進(jìn)的干式真空泵、真空儀器設(shè)備，產(chǎn)品均達(dá)到國(guó)際同類產(chǎn)品先進(jìn)水平，填補(bǔ)了國(guó)內(nèi)同類產(chǎn)品空白。

據(jù)了解，中科儀創(chuàng)建于1958年，其前身是中國(guó)科學(xué)院直屬事業(yè)單位，是中國(guó)領(lǐng)先的半導(dǎo)體制造設(shè)備核心部件提供商及真空科學(xué)儀器設(shè)備供應(yīng)商，主營(yíng)業(yè)務(wù)為干式真空泵和真空科學(xué)儀器設(shè)備的研發(fā)、生產(chǎn)、銷售及相關(guān)技術(shù)服務(wù)。中科儀作為我國(guó)真空技術(shù)領(lǐng)域的領(lǐng)軍企業(yè)，組建了國(guó)家真空儀器裝置工程技術(shù)研究中心、真空技術(shù)裝備國(guó)家工程實(shí)驗(yàn)室及國(guó)家企業(yè)技術(shù)中心，是國(guó)家級(jí)高新技術(shù)企業(yè)。

目前，中科儀干式真空泵已在國(guó)內(nèi)多家知名集成電路和光伏巨頭企業(yè)通過(guò)工藝驗(yàn)證并批量使用，打破了歐美及日韓企業(yè)對(duì)同類產(chǎn)品的長(zhǎng)期壟斷地位，實(shí)現(xiàn)集成電路產(chǎn)業(yè)核心部件國(guó)產(chǎn)化多項(xiàng)零的突破。

（本版采寫記者：安宇飛 本版攝影：宋春雨）